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ULVAC的渦輪分子泵，擁有適合研究·開(kāi)發(fā)·生產(chǎn)用途等廣泛陣容的產(chǎn)品。根據(jù)使用目的·用途·應(yīng)用可任意選擇。愛(ài)發(fā)科軸承型渦輪分子真空泵 UTM系列維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10,000-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵PMC-040C PMC-060C維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。 PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導(dǎo)體、液晶制造使用設(shè)計(jì)的羅茨泵。可以選擇大氣驅(qū)動(dòng)型。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修

PMB 系列 Ver.D是寬電壓電機(jī)（高效率電機(jī)） 可選擇的泛用型羅茨泵.可以選擇空冷運(yùn)轉(zhuǎn),表面處理和大氣壓驅(qū)動(dòng)型。愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵 PMB 系列 Ver. D維修保養(yǎng)

PKS Series是非常堅(jiān)固排氣特性穩(wěn)定的大型油回轉(zhuǎn)泵（滑閥型）。在金屬?汽車(chē)產(chǎn)業(yè)，化學(xué)?醫(yī)藥?食品產(chǎn)業(yè)等廣泛應(yīng)用。愛(ài)發(fā)科真空泵PKS-016 PKS-030 PKS-070維修