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干泵
LR/HR/UR Series

干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用。關(guān)于CEO-SHOCK的詳細(xì)信息，請從關(guān)聯(lián)情報(bào)中瀏覽。

特點(diǎn)

• LR Series: 低溫領(lǐng)域均熱化
  針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時(shí)間
• HR Series/UR Series: 高溫領(lǐng)域均熱化
  CVD、蝕刻法等發(fā)生時(shí)，升華性排氣物質(zhì)的可以以氣體狀態(tài)排出
• 1000msec以內(nèi)的瞬停對策
• 可以對應(yīng)CE愛發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養(yǎng)

用途

• 活性氣體（CVD、干腐蝕等）
• 惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
• 排氣時(shí)間縮短（LR Series)
• 粉體發(fā)生時(shí)的過程排氣（Si單結(jié)晶提高等）
• 輔助排氣泵（漩渦分子泵、機(jī)械泵的輔助排氣）

式樣

愛發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養(yǎng)?

*下單時(shí)請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。泵的溫度異常時(shí)聯(lián)鎖會運(yùn)作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標(biāo)準(zhǔn)。CE對應(yīng)場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮(zhèn)式樣也可以報(bào)價(jià)。

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟愛發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養(yǎng)HR60 HR90 HR180 HR300 HR600 HR1200

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*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標(biāo)準(zhǔn)。CE對應(yīng)場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮(zhèn)式樣也可以報(bào)價(jià)。